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n型pert和perl结构电池中，目前实验室最高效率为perl结构，为fraunhofer研究所的benick等人采用1ωcm的fz硅片，正面扩散硼形成p 发射极，al2o3薄膜作为钝化层，背面采用sio2作为钝化层，在背电极下面重扩散磷形成局部n 背表面场制备的，效率达到23.9%。

该研究所后来采用掺磷的sicx:p膜和sin:p膜作为钝化掺杂膜，使用激光进行局部掺杂，在小面积电池效率达到23.5%，大面积(143.2cm2)电池效率达到22.1%。